이 주도하고 있는 것으로 나타났다.
최근 특허청에 따르면 이와 관련된 특허출원은 지난 98년을 정점으로
대기업의 특허출원이 급감한 반면 중소기업의 특허출원은 꾸준히 증가
하고 있다.
최근 5년동안 중소기업의 출원은 전체 407건중 214건을 차지해 53%를
보여 대기업의 출원을 앞질렀다.
이 기간동안 패키지 단위의 반도체 검사기술 관련 신규 특허출원한 국
내 중소기업의 수도 98~99년에는 11개업체에 불과했지만 2000~2002년
에 21개업체로 대폭 늘었다.
2000년이후 신규 특허등록한 대표적인 중소기업은 실리콘테크, 내일시
스템, 메가텍스, 성호반도체, 인터스타테크놀로지, 넥스젠, 유니테스
트, 고영테크놀로지, 테스텍 등이다.
출원인별 점유율에 있어 내국인 출원은 98년도에 74%, 2002년에는 65%
로 나타나 외국 출원인에 비해 꾸준한 우위를 보이고 있다.
특허청은 2002년 세계 반도체 장치가 차지하는 시장규모는 195억달러
이며 그중 반도체 검사장치는 41억달러의 시장규모를 형성하고 있다
고 설명했다.
한편 패키지단위 반도체 검사기술이란 패키지 내부에 묻혀있는 집적회
로에 대해 전기적 기능의 양호 혹은 불량여부를 검출하는 기술로 반도
체 제조기술가운데 패턴형성기술, 조립기술과 더불어 필수적인 공정기
술이다.
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